利用真空泵聯合擴散泵對鍍膜室抽真空，當抽到一定程度時，鍍膜室內的壓強長時間保持不變，這主要是因為（）。

A.熱偶真空計出現故障

B.電離真空計出現故障

C.真空系統出現漏氣，系統氣體漏氣率等於氣體抽氣率，漏氣與抽真空達到動態平衡

D.以上都是

正確答案：真空系統出現漏氣，系統氣體漏氣率等於氣體抽氣率，漏氣與抽真空達到動態平衡