下列對器件尺寸參數描述正確的有()
A.L是器件的溝道長度,W是器件的寬度
B.tox是器件柵氧化層的厚度,由工藝決定
C.一般所說的90nm工藝,其中的90nm是指器件的最小溝道長度L
D.一般所說的90nm工藝,其中的90nm是指器件的柵氧化層的厚度tox
正確答案:L是器件的溝道長度,W是器件的寬度;tox是器件柵氧化層的厚度,由工藝決定;一般所說的90nm工藝,其中的90nm是指器件的最小溝道長度L
下列對器件尺寸參數描述正確的有()
A.L是器件的溝道長度,W是器件的寬度
B.tox是器件柵氧化層的厚度,由工藝決定
C.一般所說的90nm工藝,其中的90nm是指器件的最小溝道長度L
D.一般所說的90nm工藝,其中的90nm是指器件的柵氧化層的厚度tox
正確答案:L是器件的溝道長度,W是器件的寬度;tox是器件柵氧化層的厚度,由工藝決定;一般所說的90nm工藝,其中的90nm是指器件的最小溝道長度L